大行程高精度兩級定位工作臺的控制方法研究

發(fā)布于：06-10

利用單頻激光干涉儀實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋。將該系統(tǒng)應用于實際中，可雙實現(xiàn)500mm的工作行程內(nèi)小于0．02um的重復定位精度。[b][align=center]The?research?ofthe?large?travel?and?h?J_gb?precision?two—level?table?WANG?Li—song，SU?Bao～ku，?DONG?Shen，ZHANG?Jing （Harbin?Institute?of?Tehcenter]詳細內(nèi)容請點擊： 大行程高精度兩級定位工作臺的控制方法研究
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