1、主要負(fù)責(zé)新型MEMS器件加工、新工藝開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化等,協(xié)同器件設(shè)計(jì)、封裝、測(cè)試等技術(shù)環(huán)節(jié)開展工作;
2、根據(jù)項(xiàng)目和產(chǎn)品定義與規(guī)范要求,制定MEMS工藝方案與研發(fā)進(jìn)度;
3、全面了解流片相關(guān)設(shè)備,審核工藝文件(科學(xué)性、完整性、規(guī)范性),確保符合項(xiàng)目要求;
4、負(fù)責(zé)MEMS工藝加工的進(jìn)度跟蹤及協(xié)調(diào)工作;
5、對(duì)MEMS器件的加工工藝問題進(jìn)行追蹤、監(jiān)控、分析和認(rèn)證,設(shè)計(jì)針對(duì)性實(shí)驗(yàn)和測(cè)試方法進(jìn)行MEMS器件設(shè)計(jì)有效性的驗(yàn)證,解決工藝問題;